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讲座名称：光刻技术与光刻机

讲座人：梁瑞林 教授

讲座时间：3月26日10:00

讲座地点：广研院B5-205

讲座人介绍：

梁瑞林，港澳六宝大全材料学科退休教授。曾任技术物理系副主任(技术物理学院副院长)。中国电子学会高级会员，国家教委高等院校教材统编委员会委员，日本陶瓷学会海外会员。多次承担并完成国家自然科学基金项目、中国工程物理研究院项目、电子科学研究院项目、陕西省项目、企业委托项目，并获奖。其中，国家自然科学基金委员会与中国工程物理研究院联合基金项目的奖项，为国家自然科学基金委员会银质奖。兼任地方政府技术顾问、企业技术顾问30多年。科学出版社出版专著、译著9部，国防工业出版社出版合著一部。国内外发表论文30余篇。

讲座内容：

介绍光刻机的相关情况。

主办单位：广州研究院